Moxtekはマイクロパターン化したNanowire®グリッド配列を用いた独自の無機ピクセル偏光子を開発しました。この汎用性のあるカスタム偏光子は、機械的に偏光子を切り替えずに、カメラ、焦点面アレイ、干渉計、マイクロボロメータと連携することができます。Moxtekのピクセル偏光子を使用することで、可視光と赤外線の波長域における複数の偏光状態を区別した、鮮やかな画像をリアルタイムで同時に撮影でき、高速で高解像度の画像を実現します。これらの偏光子ではまた弱い照明条件でも鮮明な二次元と三次元画像を得られます。Moxtekでは2、3、4状態のイメージングデバイス向けにパターン化偏光子を提供しています。
ピクセル偏光子は単一のアレイに異なる偏光角を取り込むように設計されていて、CCD/CMOSカメラと組み合わせると、リアルタイムで偏光測定ができます。従来の偏光測定では、異なる偏光で撮影された複数の画像が必要となり、複数のカメラを互いに正確に位置合わせする必要があります。得られた画像データは、慎重に重ね合わせて、位置合わせしなければなりません。それには追加の時間、機器、精度が求められます。ピクセル偏光子は速さと解像度が重要な場合にリアルタイムイメージングを可能にします。最近、Moxtekはナノインプリントリソグラフィー（NIL）製造プロセスをさらに発展させ、ピクセル全体の性能と均一性を向上させると共に、位置合わせを伴うウェハレベルでのインプリントの可能性を見出してきました。イメージング偏光計は従来のカメラのような色の代わりに、光の偏光状態を用いて対象となる場面をマッピングします。偏光からは形状、陰影、粗さのような表面の特徴に関する高いコントラストの情報が得られます。従来の方法では、二つの異なる画像から得られたデータを結合し、正確に位置合わせをする必要があり、それには時間、機器、スペースが追加で求められます。ピクセル偏光子を画像センサーへ取り付けると、データシートの2ページの図に示すように、様々な種類の画像を同時に取得できるようになります。ピクセル偏光子のその他の用途としては、エンコーダー、レーザー、センシングなどが挙げられます。ピクセル偏光子のデータシートはこちらをご覧ください。
典型的な4状態アレイをもつピクセル偏光子のSEM画像
1µmの線幅と高精細なピクセル品質を示すSEM画像
