高速・可変パラボリックディフォーマブルMEMSミラー|レーザースキャニング レーザースキャナ｜オプティクス・ファイバー 可変パラボリックデフォーマブルMEMSミラー

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オプティクス・ファイバー(可変パラボリックデフォーマブルMEMSミラー)

高速・可変パラボリックディフォーマブルMEMSミラー

REVIBRO OPTICS社製MFCシリーズディフォーマブルMEMSミラーは、∞ <ｆ < 67mmの範囲で任意に集光位置を設定できる、可変パラボリックミラーです。　反射部はφ2mmとφ4mmの二種類が選択でき、動作速度は200μsと高速です。従来のディフォーマブルミラーのように可動部にアクチェター等の物理的な駆動機構は用いておらず、同心円電極に電圧を加え発生する静電作用により、ミラー表面の金属薄膜が凹面鏡に変化します。小型・軽量・小消費電力・低発熱・無振動・無音等の特長から、御利用用途は多岐にわたります。

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