製品仕様
レーザータイプ | ダイオードポンプ固体レーザー |
ラインアップ(波長) | <単波長タイプ> 1064nm 532nm <二波長タイプ> 1064nm / 532nm 532nm / 355nm 532nm / 266nm |
繰り返し周波数 | シングルショットモード 連続モード@20Hz バーストモード@40Hz 最大10秒 |
加工適合性
波長 | 1064nm | 532nm | 355nm/266nm |
液晶 | ITO クロム カラーフィルター(赤/緑) |
ITO クロム カラーフィルター(青/緑) |
カラーフィルター(青/緑) |
半導体 | - | 二酸化ケイ素 窒化ポリイミド SOGポリシリコン |
窒化ポリイミド |
金属 | 金 アルミ タングステン |
金 アルミ タングステン |
金 アルミ |
顕微鏡型番ごとの互換性
波長 | 1064nm | 532nm | 355nm | 266nm |
FS70L | 〇 | 〇 | 〇 | × |
FS70L4 | × | 〇 | 〇 | 〇 |
PSM1000 | 〇 | 〇 | 〇 | × |
VIS-200 | 〇 | × | × | × |
VMU-LB | 〇 | 〇 | 〇 | × |
VMU-L4B | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
代表的なアプリケーション
-
表面のエポキシ除去
(波長:266nm) -
カラーフィルタの加工
(波長:266nm) -
ポイントマーキング
(波長:532nm) -
表面のポリイミド膜除去
(波長:266nm)
保護カバー
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